下载一种金刚石单点车辅助离子束抛光金属镜的方法的技术资料

文档序号:22146831

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本发明提供一种金刚石单点车辅助离子束抛光金属镜的方法,属于光学加工技术领域。该方法利用金刚石单点车加工在金属镜表面形成一层均匀的具有一定厚度的下表面破坏层,再利用离子束抛光镜面,由于具有特定下表面破坏层的镜面在离子束抛光过程中的材料去除特性...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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