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电子显微镜样品芯片及其相关应用制造技术
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文档序号:22103660
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本发明的实施例提供了一种电子显微镜样品芯片及其相关应用,其中电子显微镜样品芯片,包括:第一基座,第一基座包括薄膜层、缓冲层以及主体层,缓冲层设置于薄膜层上且具有与薄膜层的一区域相对应的缓冲开口,主体层设置于缓冲层上且具有与缓冲层的缓冲开口相...
该专利属于谢伯宗所有,仅供学习研究参考,未经过谢伯宗授权不得商用。
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