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本发明提供一种薄膜材料热膨胀系数的控制方法，具体包括以下步骤：建立薄膜材料的分子动力学仿真模型；以不同的工艺条件对薄膜材料进行分子动力学模拟；采集模拟过程中的数据得出不同工艺条件下薄膜材料的性能；比较不同工艺条件下对应的薄膜材料的性能，筛选...
该专利属于中天电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中天电子材料有限公司授权不得商用。

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