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本申请公开了一种测量真空度的装置与一种测量真空度的方法，所述装置包括：电源、电流计、电极、半导体薄膜材料和衬底；所述电源的正负极通过导线连接所述电极；在所述电源与所述电极之间安装有所述电流计；所述电极连接所述半导体薄膜材料；所述半导体薄膜材...
该专利属于南开大学所有，仅供学习研究参考，未经过南开大学授权不得商用。

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