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本实用新型公开了一种光探测器。该光探测器,包括:衬底,以及沿入射光传播方向依次同层设置在所述衬底上的无源波导区、吸收区和反射光栅区;无源波导区用于将光耦合至所述吸收区,反射光栅区用于将未被所述吸收区吸收的光反射回所述吸收区,通过本实用新型的...该专利属于华进半导体封装先导技术研发中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华进半导体封装先导技术研发中心有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种光探测器。该光探测器,包括:衬底,以及沿入射光传播方向依次同层设置在所述衬底上的无源波导区、吸收区和反射光栅区;无源波导区用于将光耦合至所述吸收区,反射光栅区用于将未被所述吸收区吸收的光反射回所述吸收区,通过本实用新型的...