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气浮主轴承载补偿装置制造方法及图纸
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文档序号:22084891
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本实用新型公开了气浮主轴承载补偿装置。目前气浮轴承的回转误差采用砝码或弹簧进行承载补偿,无法实现实时检测和承载补偿。本实用新型中气浮主轴产生回转误差时,控制阀在控制器控制下调节输出的气体压力,给气浮主轴气膜较薄一侧承载补偿,直到三个气浮支承...
该专利属于杭州电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过杭州电子科技大学授权不得商用。
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