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本实用新型公开了一种硅烷法生产电子级多晶硅用水冷电缆与铜排连接装置,包括水冷电缆、冷却水水管、铜排以及连接于水冷电缆内壁和冷却水水管外壁之间的导电铜棒,导电铜棒与冷却水水管之间设有第一连接装置,导电铜棒与水冷电缆之间设有与第一连接装置结构相...该专利属于河南硅烷科技发展股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河南硅烷科技发展股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种硅烷法生产电子级多晶硅用水冷电缆与铜排连接装置,包括水冷电缆、冷却水水管、铜排以及连接于水冷电缆内壁和冷却水水管外壁之间的导电铜棒,导电铜棒与冷却水水管之间设有第一连接装置,导电铜棒与水冷电缆之间设有与第一连接装置结构相...