下载一种白光干涉三维形貌重建方法、装置、系统及存储介质的技术资料

文档序号:22078136

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本发明公开了一种白光干涉三维形貌重建方法、装置、系统及计算机可读存储介质,该方法包括对待测物体进行等步长垂直扫描,并采集得到一系列的白光干涉条纹;依据各个白光干涉条纹图得到与每个像素点分别对应的相对高度;依据与每个像素点分别对应的相对高度重...
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