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本发明公开了一种硅微谐振式加速度计及其自测试方法，属于传感器技术领域。该硅微谐振式加速度计包括：谐振器、质量块和自测试结构。自测试结构包括至少一个电极对，电极对包括第一电极和第二电极，第一电极与质量块连接，能带动质量块移动，第二电极固定在加...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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