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本实用新型提供一种可调节抛光垫面型的抛光垫修整器，包括修整器本体、修整丸片以及连接件，修整器本体的圆周方向设有若干放置孔，修整丸片的侧壁下方设有外螺纹，连接件包括套管、环形凸台以及弹性脚片。本实用新型提供的可调节抛光垫面型的抛光垫修整器，可...
该专利属于上海致领半导体科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海致领半导体科技发展有限公司授权不得商用。

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