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本实用新型提供一种基于双面抛光机的分体式抛光布修整环，包括行星轮框架以及修整环主体，修整环主体呈环状一体成型结构，修整环主体表面固结有金刚石颗粒层，修整环主体的圆周方向上设有若干条形槽以及半圆形凹槽，行星轮框架的周缘上设有半圆形凸起部，当修...
该专利属于上海致领半导体科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海致领半导体科技发展有限公司授权不得商用。

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