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一种基于在线测量的微结构阵列的加工方法技术
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文档序号:22065273
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本发明公开一种基于在线测量的微结构阵列的加工方法,包括以下步骤:(1)将工件和定位块固定在四轴加工机床的B轴升降台之上;(2)利用第一刀具将工件的顶面以及定位块的顶面均加工成平面;(3)进行微结构阵列加工,并将剩余的加工量控制在50微米以内...
该专利属于北京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京理工大学授权不得商用。
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