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本发明公开了一种晶圆激光划片装置，所述机架上固定设置有激光装置、载物装置、图像装置、控制器，所述载物装置包括玻璃真空吸盘。将晶圆置于玻璃真空吸盘后，点击控制器启动真空装置通过通孔一将环形槽、条形槽抽真空，保证晶圆在被划片时晶圆下侧被吸附的均...
该专利属于深圳市弗镭斯激光技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市弗镭斯激光技术有限公司授权不得商用。

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