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本揭示提供一种薄膜晶体管的制备方法及薄膜晶体管，使用铜/钼双金属层结构作为导线，首先进行栅极绝缘层及钼金属层的图案化，然后进行栅极铜金属层的镀膜及图案化，降低和避免了底切及掏空现象的发生，降低了显示面板的不良率，提升了显示面板的信赖性。...
该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。

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