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本发明提供了一种硅基底清洗方法，包括如下步骤：提供硅基底，进行超声；对所述超声后的硅基底用HPM试剂处理，再用水漂洗、超声得第一硅基底；对所述第一硅基底用无水乙醇进行擦拭，再超声得第二硅基底；对所述第二硅基底用SPM试剂处理，再用水漂洗、超...
该专利属于深圳烯湾科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳烯湾科技有限公司授权不得商用。

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