下载一种晶片周转盒的技术资料

文档序号:22042404

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本发明涉及用于存放半导体晶片的周转盒。一种晶片周转盒,包括箱体、门架、气缸、弹簧缸筒、晶片盒安装架和输送机械手;箱体的后部设置有连接法兰板,连接法兰板与输送机械手固定连接;箱体前部下端左右两侧分别设置有两个铰接座;两个铰接座之间设置有铰接杆...
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