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本发明属于气体标准物质制备领域，具体涉及一种可在线分析残余气体的气瓶高真空清洗装置及方法。高真空清洗装置包括集成管线系统、抽气系统、分析系统及控制系统；通过不锈钢波纹管线系统与气瓶连接，设计了两路抽气系统，通过机械泵先预抽后切换分子泵配合深...
该专利属于中国测试技术研究院化学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国测试技术研究院化学研究所授权不得商用。

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