一种可在线分析残余气体的气瓶高真空清洗装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术属于气体标准物质制备领域，具体涉及一种可在线分析残余气体的气瓶高真空清洗装置及方法。高真空清洗装置包括集成管线系统、抽气系统、分析系统及控制系统；通过不锈钢波纹管线系统与气瓶连接，设计了两路抽气系统，通过机械泵先预抽后切换分子泵配合深度抽气，防止气瓶和管路中的常压气体对分子泵造成损伤；抽气系统连接质谱仪在线分析残余气体，可实时对气瓶清洗情况进行监控；本方案清洗过程中可在线增加气瓶而无需关闭泵组；可在气瓶瓶身环扣控温加热套，在抽洗同时对气瓶加热处理，有效去除气瓶中的残余水分和易吸附的杂质。采用本装置及方法抽洗的气瓶，真空度高，通过在线分析保证控制目标杂质组分余量达标。

A Cylinder High Vacuum Cleaning Device and Method for On-line Analysis of Residual Gases

【技术实现步骤摘要】
一种可在线分析残余气体的气瓶高真空清洗装置及方法
本专利技术属于气体标准物质制备领域，具体涉及一种可在线分析残余气体的气瓶高真空清洗装置及方法。
技术介绍
在气体标准物质制备流程中，气瓶的清洗是决定气体制备准确度的关键因素之一。气瓶清洗不够彻底，往往会残留微量的空气，水汽及前次使用组分等，这对于微量无机杂质气，水汽影响较大的如硫化物、甲醛等气体的制备会产生较大影响，造成制备的量值与目标量值偏差较大。现有技术对气瓶的清洗主要采用以泵为主体的抽气装置，包括机械泵或分子泵，其中传统机械泵只能将极限真空度抽到10-2mbar。如若采用分子泵，能有效降低极限真空度，但在使用过程中却存在操作隐患。分子泵在高真空工作状态下，旋转叶片会达到很高转速，此时气瓶中的常压气体进入分子泵会由于气压过大损坏旋转叶片；基于此原因，气瓶清洗过程中不能在线增加气瓶，一批次气瓶清洗完成后，不能直接更换气瓶进行下批次清洗，而是需要将分子泵停止后才能继续工作。对于气瓶清洗需求量大时，需要对分子泵进行频繁启停，同样对于分子泵有很大损伤。另外，现有技术的清洗装置并不具备在线分析残余气体功能，不能对气瓶清洗的质量实施精准监控。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可在线分析残余气体的气瓶高真空清洗装置，其特征在于：包括集成管线系统、抽气系统、分析系统及控制系统；所述集成管线系统包括若干两端均连接有控制阀的连接管，所述连接管一端的控制阀通过接头与待清洗气瓶连接；所述抽气系统包括转接组件，所述转接组件与连接管另一端的控制阀连接，转接组件分别设置带有控制阀的第一出口与机械泵连接，带有控制阀的第二出口与分子泵连接，第三出口通过管路与分析系统连通，所述分子泵出口通过带有控制阀的管路与机械泵入口连接；所述分析系统为带有电子倍增器的质谱仪；所述控制系统包括电源控制面板及分子泵控制器，所述电源控制面板设置有除分子泵以外的电气件开关，所述分子泵控制器设置有安装在...

【技术特征摘要】
1.一种可在线分析残余气体的气瓶高真空清洗装置，其特征在于：包括集成管线系统、抽气系统、分析系统及控制系统；所述集成管线系统包括若干两端均连接有控制阀的连接管，所述连接管一端的控制阀通过接头与待清洗气瓶连接；所述抽气系统包括转接组件，所述转接组件与连接管另一端的控制阀连接，转接组件分别设置带有控制阀的第一出口与机械泵连接，带有控制阀的第二出口与分子泵连接，第三出口通过管路与分析系统连通，所述分子泵出口通过带有控制阀的管路与机械泵入口连接；所述分析系统为带有电子倍增器的质谱仪；所述控制系统包括电源控制面板及分子泵控制器，所述电源控制面板设置有除分子泵以外的电气件开关，所述分子泵控制器设置有安装在转接组件内的真空计。2.根据权利要求1所述的气瓶高真空清洗装置，其特征在于：所述清洗装置中，所述连接管为不锈钢波纹管，所述分子泵与转接组件之间的控制阀为插板阀，其余控制阀均为隔膜阀。3.根据权利要求2所述的气瓶高真空清洗装置，其特征在于：所述转接组件的主体为圆柱形腔体，腔体内贯穿有连通的转接管，所述转接管上设置出口连接一段钢性加长管，通过加长管与各不锈钢波纹管的一端隔膜阀连接。4.根据权利要求2所述的气瓶高真空清洗装置，其特征在于：所述隔膜阀与其连接的任意组件的连接面设置密封圈密封后采用卡箍卡紧。5.根据权利要求1所述的气瓶高真空清洗装置，其特征在于：所述机械泵为无油耐腐蚀干泵，抽速不小于7L/s。6.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：周鑫，董了瑜，李志昂，邓凡锋，李鹏辉，
申请(专利权)人：中国测试技术研究院化学研究所，
类型：发明
国别省市：四川,51