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本实用新型提供了一种磁控溅射镀膜机冷却装置，所述装置包括冷却背板和铺设有多个冷却水管的冷却室，所述冷却背板和永磁体相对应的位置设置有软磁体段，增强了靶材表面的磁场强度，提高了磁控溅射镀膜的效率，所述冷却水管呈迂回状铺设于冷却室中，部分冷却水...
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