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本发明公开一种隔离结构及其制造方法，该隔离结构设置在磁性随机存取存储器元件的鳍形晶体管之间，其中包括鳍形线基板，有沟槽横跨所述鳍形线基板。氧化层设置在所述沟槽以外的所述鳍形线基板上。衬垫层设置在所述沟槽的凹陷表面。氮化层设置在所述衬垫层上，...
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