温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供一种蓝宝石晶棒切割抛光装置，包括机架、晶棒固定装置、切割片和喷淋系统，所述晶棒固定装置包括三爪卡盘，所述三爪卡盘设置于卡盘座上，卡盘与卡盘座通过轴承连接，卡盘由第一伺服电机驱动，卡盘座设置于导轨上，其底部安装有丝母，所述丝母匹...
该专利属于山西中聚晶科半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山西中聚晶科半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。