下载支承单元以及采用了该支承单元的移动作业台装置和线性移动导向装置的技术资料

文档序号:2201766

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一种支承单元,使得移动作业台装置中基台和作业台之间的连接变得容易。支承单元(Uα)具有一对平面轴承板(31a、31b),在两平面轴承板(31a、31b)的内侧分别配置了球面轴承板(34a、34b)。而且,夹在两球面轴承板(34a、34b)间...
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