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一种用于APCVD的履带轨道工艺气孔的刻蚀工具，包括刻蚀腔体和腔体盖板组件，刻蚀腔体由侧板首尾相接围成，上下两端开口，刻蚀腔体的下部开设有安装密封圈的密封圈沟槽，刻蚀腔体上部安装有围绕刻蚀腔体上开口的边板，边板和侧板相接处构成用以安装所述腔...
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