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本申请提供一种谐振薄膜层、谐振器和滤波器,该谐振薄膜层包括第一电极层,设置在第一晶圆上;压电层,设置在所述第一电极层上;第二电极层,设置在所述压电层上;可调整层,设置在所述第二电极层上,配重图案,实施于所述可调整层上设置在所述第二电极层上,...该专利属于厦门市三安集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门市三安集成电路有限公司授权不得商用。
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本申请提供一种谐振薄膜层、谐振器和滤波器,该谐振薄膜层包括第一电极层,设置在第一晶圆上;压电层,设置在所述第一电极层上;第二电极层,设置在所述压电层上;可调整层,设置在所述第二电极层上,配重图案,实施于所述可调整层上设置在所述第二电极层上,...