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本发明公开了一种离子束刻蚀腔体清洗装置，包括设置在离子束刻蚀腔体中的U形电极；离子束刻蚀腔体分别与惰性气体源和真空机组相连接；U形电极位于刻蚀电极和矩形侧壁之间，其能绕过刻蚀电极在离子束刻蚀腔体中进行180°转动；U形电极中通入高压电源；U...
该专利属于江苏鲁汶仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鲁汶仪器有限公司授权不得商用。

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