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本实用新型提供了一种阴极支座装置，涉及磁控溅射技术领域。其包括：法兰板，所述法兰板具有第一面和第二面，所述第二面用于通过螺栓密封安装于磁控溅射镀膜设备的外壁，所述第二面与所述外壁间设有绝缘板；所述第一面设有导电件；阴极体，与所述第二面间隔所...
该专利属于苏州艾钛科纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州艾钛科纳米科技有限公司授权不得商用。

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