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本发明提供了柔性基底表面兼具压阻性能与韧性的非晶碳膜的制备方法。该方法采用高功率脉冲磁控溅射技术，选择石墨靶，在惰性气体氛围中在柔性基底表面溅射沉积非晶碳膜，脉冲电源电压为800～1000V，脉冲占空比为1％～5％。与现有技术相比，该方法还...
该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。

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