下载一种半导体半真空瞬间反应炉的技术资料

文档序号:21986110

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种半导体半真空瞬间反应炉,包括反应炉外壳,所述反应炉外壳的上方设置有驱动电机,所述驱动电机的下表面固定连接有反应炉盖,且反应炉盖与反应炉外壳固定连接,所述反应炉盖的下表面设置有搅拌转轴,且搅拌转轴贯穿反应炉盖与驱动电机固定连接...
该专利属于潘正顺所有,仅供学习研究参考,未经过潘正顺授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。