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一种半导体半真空瞬间反应炉制造技术
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下载一种半导体半真空瞬间反应炉的技术资料
文档序号:21986110
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本发明公开了一种半导体半真空瞬间反应炉,包括反应炉外壳,所述反应炉外壳的上方设置有驱动电机,所述驱动电机的下表面固定连接有反应炉盖,且反应炉盖与反应炉外壳固定连接,所述反应炉盖的下表面设置有搅拌转轴,且搅拌转轴贯穿反应炉盖与驱动电机固定连接...
该专利属于潘正顺所有,仅供学习研究参考,未经过潘正顺授权不得商用。
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