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本实用新型公开了一种玻璃晶片脱胶装置,包括脱胶槽、脱水组件、浓硫酸罐、双氧水罐和微处理器;所述脱胶槽包括相邻设置的清洗槽和漂洗槽,所述清洗槽内注入有浓盐酸和双氧水,清洗槽内上部设有清洗篮;所述漂洗槽内上部设有漂洗篮;所述浓硫酸罐通过浓硫酸管...该专利属于苏州市晶协高新电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州市晶协高新电子材料有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种玻璃晶片脱胶装置,包括脱胶槽、脱水组件、浓硫酸罐、双氧水罐和微处理器;所述脱胶槽包括相邻设置的清洗槽和漂洗槽,所述清洗槽内注入有浓盐酸和双氧水,清洗槽内上部设有清洗篮;所述漂洗槽内上部设有漂洗篮;所述浓硫酸罐通过浓硫酸管...