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本发明实施例公开了一种真空干燥装置。该真空干燥装置包括：真空腔室，所述真空腔室包括相对设置的盖板和基板载台；所述盖板包括中央区域和围绕所述中央区域的边缘区域；所述中央区域和所述边缘区域均设置有进气孔。本实施例的方案避免了进气时气体从待干燥基...
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