一种真空干燥装置制造方法及图纸

本发明专利技术实施例公开了一种真空干燥装置。该真空干燥装置包括：真空腔室，所述真空腔室包括相对设置的盖板和基板载台；所述盖板包括中央区域和围绕所述中央区域的边缘区域；所述中央区域和所述边缘区域均设置有进气孔。本实施例的方案避免了进气时气体从待干燥基板四周到待干燥基板中央形成涡流，从而避免了待干燥基板表面留下各种痕迹，提升了显示面板的显示均匀性。

【技术实现步骤摘要】
一种真空干燥装置
本专利技术实施例涉及真空干燥技术，尤其涉及一种真空干燥装置。
技术介绍
在显示面板的制造领域，黄光制程中一般将表面涂布有光阻的基板置于真空干燥装置中，使基板表面光阻中的有机溶剂挥发而使光阻干燥，但这种干燥方法容易造成显示面板亮度不均匀。
技术实现思路
本专利技术提供一种真空干燥装置，以避免进气时气体从待干燥基板四周到待干燥基板中央形成涡流，从而避免待干燥基板表面留下各种痕迹，提升显示面板的显示均匀性。第一方面，本专利技术实施例提供了一种真空干燥装置，包括：真空腔室，所述真空腔室包括相对设置的盖板和基板载台；所述盖板包括中央区域和围绕所述中央区域的边缘区域；所述中央区域和所述边缘区域均设置有进气孔。可选的，所述中央区域设置有至少一组中央进气孔组；所述边缘区域设置有偶数组边缘进气孔组，每两组所述边缘进气孔组相对设置于所述中央进气孔组的两侧。可选的，所述盖板沿第一方向的尺寸大于沿第二方向的尺寸，所述第一方向和所述第二方向相互垂直；所述边缘区域包括第一边缘进气孔组和第二边缘进气孔组，所述第一边缘进气孔组和所述第二边缘进气孔组沿所述第一方向设置于所述中央进气孔组的两侧；所述第一边本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空干燥装置，其特征在于，包括：真空腔室，所述真空腔室包括相对设置的盖板和基板载台；所述盖板包括中央区域和围绕所述中央区域的边缘区域；所述中央区域和所述边缘区域均设置有进气孔。

【技术特征摘要】
1.一种真空干燥装置，其特征在于，包括：真空腔室，所述真空腔室包括相对设置的盖板和基板载台；所述盖板包括中央区域和围绕所述中央区域的边缘区域；所述中央区域和所述边缘区域均设置有进气孔。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述中央区域设置有至少一组中央进气孔组；所述边缘区域设置有偶数组边缘进气孔组，每两组所述边缘进气孔组相对设置于所述中央进气孔组的两侧。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于：所述盖板沿第一方向的尺寸大于沿第二方向的尺寸，所述第一方向和所述第二方向相互垂直；所述边缘区域包括第一边缘进气孔组和第二边缘进气孔组，所述第一边缘进气孔组和所述第二边缘进气孔组沿所述第一方向设置于所述中央进气孔组的两侧；所述第一边缘进气孔组和所述第二边缘进气孔组的进气孔均沿所述第二方向依次排列。4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于：所述中央区域包括一组中央进气孔组，所述中央进气孔组的进气孔沿所述第二方向排列；或者，所述中央区域包括两组中央进气孔组，所述中央进气孔组的进气孔沿所述第一方向排列或沿所述第二方向排列...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘灵，蒋际君，汪永佳，沈楠，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32