温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供了一种酸刻蚀硅晶片废酸液处理方法和系统,该处理方法包括:将钠盐溶液添加到酸刻蚀硅晶片废酸液中,并持续搅拌30~180min,形成第一固液混合物,通过离心,得到氟硅酸钠固体和第一滤液;向第一滤液中添加氢氧化钠溶液,控制pH至2‑4,...该专利属于北京环球中科水务科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京环球中科水务科技有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供了一种酸刻蚀硅晶片废酸液处理方法和系统,该处理方法包括:将钠盐溶液添加到酸刻蚀硅晶片废酸液中,并持续搅拌30~180min,形成第一固液混合物,通过离心,得到氟硅酸钠固体和第一滤液;向第一滤液中添加氢氧化钠溶液,控制pH至2‑4,...