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一种用于微流控芯片中微液滴切割的方法技术
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文档序号:21931648
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本发明公开了一种用于微流控芯片中微液滴切割的方法。利用光刻技术,实现X切铌酸锂晶片表面的图案化,利用真空蒸镀技术在图案化的微区域蒸镀铁膜,然后利用退火工艺实现微流控芯片的制作。利用聚焦激光光斑微液滴边缘的移动,可实现微液滴的切割。此技术发明...
该专利属于河北工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过河北工业大学授权不得商用。
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