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本实用新型公开了一种晶圆倒片机中盘的气密性检测装置，包括：密封机构，其设有密封圈，当所述密封机构由初始位置下降到预设位置时，所述密封圈用于扣住盘盖外径，以对所述盘盖及置于所述盘盖中的盘的气密性进行检测；升降机构，用于带动所述密封机构在预设位...
该专利属于上海福赛特机器人有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海福赛特机器人有限公司授权不得商用。

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