下载一种带有干燥机构的微电子元件表面处理装置的技术资料

文档序号:21921063

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本实用新型涉及微电子元件表面处理技术领域,具体公开了一种带有干燥机构的微电子元件表面处理装置,包括座板、第一干燥机构和第二干燥机构,第一干燥机构和第二干燥机构固定安装在座板的顶端;所述第一干燥机构包括第一支撑板和第二支撑板,所述第一支撑板和...
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