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本发明为一种多晶硅生产中还原尾气的回收工艺。一种多晶硅生产中还原尾气的回收工艺，包括以下步骤：将富含氯化氢的氯硅烷送氯化氢解析塔，解析塔的塔顶温度为40～70℃，压力为0.4～0.8MPaG，塔釜液送至精馏；塔顶采出气相送至氯硅烷提纯塔，氯...
该专利属于新疆大全新能源股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新疆大全新能源股份有限公司授权不得商用。

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