下载金刚线切割硅片的方法的技术资料

文档序号:21905511

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本发明涉及一种金刚线切割硅片的方法,包括以下步骤:将粘附有硅块的晶托安装于金刚线线网上方的工作台上;下压工作台,同时导轮带动金刚线运动,对硅块进行切割。技术效果:将往复运动过程中的金刚线的线速度和加速度进行了优化调整,能够减少金刚线的加减速...
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