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一种MEMS麦克风封装结构制造技术
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下载一种MEMS麦克风封装结构的技术资料
文档序号:21898937
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本实用新型涉及一种MEMS麦克风封装结构。该封装结构包括:基板、MEMS芯片以及壳体,所述壳体与所述基板固定连接,形成容纳有所述MEMS芯片的腔体;所述基板上开设有声孔,所述MEMS芯片设置在所述声孔的内侧,并与所述基板电连接;其中,在所述...
该专利属于歌尔科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过歌尔科技有限公司授权不得商用。
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