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本发明提供一种小间距密排垂直腔面发射激光器及其制备方法，其中，激光器包括：衬底、外延层、制备在外延层上的Mesa台面、上电极以及下电极；Mesa台面为多个，多个Mesa台面排布于外延层的一侧表面上，任一Mesa台面形成外延层的发光点，任一M...
该专利属于苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司授权不得商用。

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