下载用于全固态锂离子电池的超薄锂负极膜的制备工艺的技术资料

文档序号:21897006

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本发明公开了本发明提供了一种用于全固态锂离子电池的超薄锂负极膜的制备工艺,包括如下步骤:在基片上通过磁控溅射方法沉积Cu3N薄膜,其中Cu3N薄膜的厚度为10‑12nm;在Cu3N薄膜上通过磁控溅射方法沉积第一TiO2薄膜,其中第一TiO2...
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