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本发明提供一种获得刻蚀深度极限值的方法，包括以下步骤：S1，输入至少三组数据，每组数据包括刻蚀深度的值和对应的工艺循环次数；S2，计算各组数据中的平均刻蚀率，该平均刻蚀率为刻蚀深度的值与工艺循环次数的比值；S3，利用线性拟合的方法拟合出平均...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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