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一种离子注入装置及测定装置。本发明实现离子束的角度分布的评价的高速化。本发明的测定装置(50)包括：多个狭缝(74a～74c)，使离子束入射；束电流测定部(54)，设置于从多个狭缝沿射束行进方向分离的位置；及测定控制部。束电流测定部(54)...
该专利属于住友重机械离子科技株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友重机械离子科技株式会社授权不得商用。

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