下载硅棒转换装置、硅棒开方设备及硅棒开方方法的技术资料

文档序号:21874486

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本申请公开一种硅棒转换装置、硅棒开方设备及硅棒开方方法,该硅棒开方设备包括硅棒转换装置和线切割装置,其中,利用硅棒转换装置可将承载的待切割硅棒由等待区转换至切割区以供线切割装置对位于切割区的待切割硅棒进行开方切割,以及利用硅棒转换装置可将已...
该专利属于浙江集英精密机器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江集英精密机器有限公司授权不得商用。

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