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一种基于双电刷采样法的电位计线性度同步连续修刻系统及修刻方法技术方案
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下载一种基于双电刷采样法的电位计线性度同步连续修刻系统及修刻方法的技术资料
文档序号:21873212
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本发明提出一种基于双电刷采样法的电位计线性度同步连续修刻系统及修刻方法,所述系统包括平行放置的两个电刷A、B和修刻铣刀,所述两个电刷和修刻铣刀的位置在修刻的过程相对位置保持不变;所述两个电刷均保持采样区域位置与X方向垂直,所述两个电刷的采样...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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