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本实用新型涉及一种陶瓷靶材加工用烧结装置，特别涉及靶材加工设备领域。本实用新型包括前端传送装置、烧结腔、真空发生装置、靶材坯体；前端传送装置包括滚轮、驱动装置、皮带、皮带轮、输送带；烧结腔包括上盖、加固密封件、压力传感器、液压系统、保温层、...
该专利属于福建省创飞新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建省创飞新材料科技有限公司授权不得商用。

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