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一种应用于半导体材料外延生长的石墨盘制造技术
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文档序号:21858802
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本实用新型公开了一种应用于半导体材料外延生长的石墨盘,所述石墨盘上形成有若干个带有一平边的衬底凹槽,用于放置衬底,其中,所述衬底凹槽的槽底上设置有一个平行靠近于平边的长条形凸条,所述长条形凸条的高度低于衬底凹槽深度,长度要求不大于衬底凹槽的...
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