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本实用新型公开了一种OVD沉积系统,该装置包括沉积罩、芯棒、排气系统和至少一沉积喷灯组,所述沉积罩包括左右间隔设置的第一沉积罩和第二沉积罩,所述第一沉积罩与第二沉积罩形成沉积通道,所述芯棒设于所述沉积通道中并可绕自身轴向旋转,每一所述沉积喷...该专利属于藤仓烽火光电材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过藤仓烽火光电材料科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种OVD沉积系统,该装置包括沉积罩、芯棒、排气系统和至少一沉积喷灯组,所述沉积罩包括左右间隔设置的第一沉积罩和第二沉积罩,所述第一沉积罩与第二沉积罩形成沉积通道,所述芯棒设于所述沉积通道中并可绕自身轴向旋转,每一所述沉积喷...