下载锆前体、铪前体、钛前体及使用其沉积含第4族的膜的技术资料

文档序号:21855207

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披露了形成含第4族过渡金属的膜的组合物,这些组合物包含具有下式的第4族过渡金属前体:L‑M‑C5R3‑I‑[(ER2)m‑(ER2)n‑L']‑2‑[(ER2)o‑(ER2)p‑L']‑和L‑M‑C5R3‑1‑[(ER2)m‑(ER2)n)...
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