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本实用新型实施例提供一种旋转靶材在线打磨装置，所述装置包括遮挡构件及打磨构件；在打磨状态，所述遮挡构件及打磨构件形成封闭空间用于包围旋转靶材；其中，所述打磨构件与所述旋转靶材相接触；在非打磨状态，所述遮挡构件及打磨构件远离所述旋转靶材。本实...
该专利属于东泰高科装备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东泰高科装备科技有限公司授权不得商用。

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