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本发明公开了一种基于膜厚检测的形状精度检测方法，涉及形状精度检测技术领域，包括：以下步骤，步骤二，旋涂透明薄膜：将工件放置于旋涂仪上，利用旋涂仪在工件表面旋涂一层透明薄膜；步骤三，检测工件表面形状精度和表面粗糙度：将旋涂好的工件放在膜厚检测...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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